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拉单晶硅过程中对石英坩埚(22寸)侵蚀量大概多少?

来源:学生作业帮 编辑:百度作业网作业帮 分类:化学作业 时间:2024/07/16 06:29:18
拉单晶硅过程中对石英坩埚(22寸)侵蚀量大概多少?
拉单晶硅过程中对石英坩埚(22寸)侵蚀量大概多少?
石英坩埚怎么会侵蚀呢?除非石英坩埚本身或多晶硅原料的杂货含量偏高,才会在石英坩埚的表面产生析晶.
现在的石英坩埚内表面有氢氧化钡涂层,在高温下形成了硅酸钡看上去就像坩埚内表面失透.
除非有坩埚厂家特别说明一般坩埚外部不会涂层,如果有比较严重的析晶产生多半是石墨埚有问题.
再问: 之前是有一些不用涂层的吧,在那么高的温度下,一定会有一定的坩埚被侵蚀吧,之前我看过了一篇专利讲了这个,不过我找不到了。 即使是涂了钡层也形成硅酸钡,也有一定侵蚀吧!